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특징 Dmix-XLC
 
심플한 장치 구조
탄산가스급기모듈의 긴 수명
각종 ALARM 및 RESISTIVITY값 전송으로 사용자의 편의성 제공
탄산가스 BOMBE AUTO CHANGE기능 장착으로 사용중인 BOMBE의 탄산가스 소진 시에도 바로사용가능
탄산가스 공급 라인이 없어도 CO2 BOMBE를 적재할 수 있는 CABINET TYPE

적용분야
 
반도체 웨이퍼 세정시 초순수사용공정(스크라바공정, 리소그래피공정, 마스크세정공정, CMP공정, 다이싱공정 등)
LCD GLASS 세정시 초순수사용공정(마스크 세정, 셀 세정, 증착전 세정, 면취후 세정, 연마 세정 등)
기타 초순수의 전기전도도를 낮춰서 사용해야 하는 곳

항목 단위 모델명
- - Dmix-1.5LC Dmix-10L
 Dmix-20L
 Dmix-50L
사용유량 L/min
 0.7~1.5 1~10 3~20 5~50
비저항 조절 범위 MΩcm 0.02~2.00
 0.02~2.00 0.02~2.00 0.02~2.00
사용유체 - 초순수, 탄산가스 초순수, 탄산가스 초순수, 탄산가스 초순수, 탄산가스
사용유체온도 ºC 20~30 20~30 20~30 20~30
공급수 압력 KPa 150~300 150~300 150~300 150~300
공급탄산가스 압력
 MPa 0.1 0.1 0.1 0.1
사용환경온도 ºC 20~30 20~30 20~30 20~30
전원 -

AC 220V

AC 220V

AC 220V

AC 220V
치수 mm

620X450X1250

 620X450X1250
 620X450X1250
 620X450X1250
초순수입구 - Rc 3/8" (FEMALE) Rc 1/2" (FEMALE) Rc 3/4" (FEMALE) Rc 1" (FEMALE)
초순수출구 - Rc 3/8" (FEMALE) Rc 1/2" (FEMALE) Rc 3/4" (FEMALE) Rc 1" (FEMALE)
탄산가스출구 - 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING)
DRAIN출구   6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING)


도면
 
특징 Dmix-X L
 
심플한 장치 구조
탄산가스급기모듈의 긴 수명
각종 ALARM 및 RESISTIVITY값 전송으로 사용자의 편의성 제공
장비 내부에 간단하게 장착 가능하도록 설계된 RACK TYPE

적용분야
 
반도체 웨이퍼 세정시 초순수사용공정 (스크라바공정, 리소그래피공정, 마스크세정공정, CMP공정, 다이싱공정 등)
LCD GLASS 세정시 초순수사용공정 (마스크 세정, 셀 세정, 증착전 세정, 면취후 세정, 연마 세정 등)
기타 초순수의 전기전도도를 낮춰서 사용해야 하는 곳

항목 단위 모델명
- - Dmix-1.5LC Dmix-10L
 Dmix-20L
 Dmix-50L
사용유량 L/min
 0.7~1.5 1~10 3~20 5~50
비저항 조절 범위 MΩcm 0.02~2.00
 0.02~2.00 0.02~2.00 0.02~2.00
사용유체 - 초순수, 탄산가스 초순수, 탄산가스 초순수, 탄산가스 초순수, 탄산가스
사용유체온도 ºC 20~30 20~30 20~30 20~30
공급수 압력 KPa 150~300 150~300 150~300 150~300
공급탄산가스 압력
 MPa 0.1 0.1 0.1 0.1
사용환경온도 ºC 20~30 20~30 20~30 20~30
전원 - DC 24V DC 24V DC 24V DC 24V
치수 mm 580X380X250
 580X380X250
 580X380X250
 580X380X250
초순수입구 - Rc 3/8" (FEMALE) Rc 1/2" (FEMALE) Rc 3/4" (FEMALE) Rc 1" (FEMALE)
초순수출구 - Rc 3/8" (FEMALE) Rc 1/2" (FEMALE) Rc 3/4" (FEMALE) Rc 1" (FEMALE)
탄산가스출구 - 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING)
탄산가스 MANUAL출구 - 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING)
탄산가스 AUTO출구   6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING)
DRAIN출구   6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING) 6mm (LOCK FITTING)


도면