 |
특징 |
| |
 |
간단한 시스켐 구성 - AIR를 이용한 VACUUM 형성 방법 사용 |
|
반영구적인 탈기 모듈의 수명 - 구입후 1년간 보증 |
|
고가의 모듈 보호를 위한 시스템 구축 가능 - VACUUM 형성/해제 SYSTEM |
|
각종 ALARM 및 VACUUM값 전송으로 사용자의 편의성 제공 가능 |
|
|
적용분야 |
| |
|
현상액, 신나 탈기 |
|
초순수 탈기 |
|
Photo Resist 탈기 |
|
기타 유기용제 탈기 |
|
| 항목 |
단위 |
모델명 |
| - |
- |
PDC-20C-A |
PDC-20C-B |
PDC-150C-A |
PDC-150C-B |
PDD-3L-A |
PDD-3L-B |
| 적용분야 |
- |
신나,IPA,PR
유기용제등 |
신나,IPA,PR
유기용제등 |
신나,IPA,PR
유기용제등 |
신나,IPA,PR
유기용제등 |
현상액,초순수등 |
현상액,초순수등 |
| 표준유량 |
cc/min |
10 |
10 |
50 (1 module) |
50 (1 module) |
2000 (1 module) |
2000 (1 module) |
| 최대유량 |
cc/min |
20 |
20 |
150 (1 module) |
150 (1 module) |
3000 (1 module) |
3000 (1 module) |
| 최대사용압력 |
MPa |
0.2 |
0.2 |
0.34 |
0.34 |
0.34 |
0.34 |
| VACUUM 방식 |
- |
Diaphragm pump |
Air Ejector |
Diaphragm pump |
Air Ejector |
Diaphragm pump |
Air Ejector |
| 전원 |
- |
AC 220V |
- |
AC 220V |
- |
AC 220V |
- |
|
|
도면 |
 |
|
